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SRM 2135c Ni/Cr薄膜深度剖面標(biāo)準(zhǔn)品

簡要描述:SRM 2135c Ni/Cr薄膜深度剖面(標(biāo)準(zhǔn)品)主要用于校準(zhǔn)表面分析中的濺射深度標(biāo)度和腐蝕速率。

  • 英文名稱:Ni/Cr Thin Film Depth Profile
  • 產(chǎn)品型號(hào):SRM 2135c
  • CAS:
  • 產(chǎn)品規(guī)格:each
  • 純度:
  • 品牌:美國NIST
  • 訪  問  量:211

產(chǎn)品介紹

SRM 2135c Ni/Cr薄膜深度剖面(標(biāo)準(zhǔn)品)主要用于校準(zhǔn)表面分析中的濺射深度標(biāo)度和腐蝕速率。其周期性結(jié)構(gòu)由八個(gè)定義明確的金屬/金屬界面組成,可用于在多個(gè)深度獲得精確校準(zhǔn)。 SRM 2135c 已通過總鉻 (Cr) 和鎳 (Ni) 厚度、單元素層間均勻性、Ni 和 Cr 雙層均勻性(周期性)和單層厚度 [1-3] 的認(rèn)證。以質(zhì)量/面積為單位表示的認(rèn)證厚度值在題為“認(rèn)證值和不確定性”的部分中給出。


SRM 2135c 的一個(gè)單元由拋光的硅 (100) 基板上的九個(gè)交替金屬薄膜層、五層純鉻和四層純鎳組成。各個(gè)層的厚度通常為 57 nm(Cr 為 57 nm,Ni 為 56 nm)。經(jīng)認(rèn)證的樣品面積由基材的全寬(1.0 厘米)和以 2.54 厘米長的基材為中心的 2.0 厘米長度確定(見圖 l)。




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